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离子枪(IS40C1)及配套电源

发布日期:2024-12-20 21:01 浏览次数:

描述:

  离子源IS 40C1是一个紧致,易用的提取类型的离子枪,主要用于样品表面清洁。该源生成的离子电流大于70微安每平方厘米(氩气),该离子电流具有高斯光束的轮廓。离子源的插入深度可根据个人要求调整(62.5mm-384.5之间)。


特征:


使用惰性气体(Ar)和活性气体(O2, H2,碳氢化合物),使用活性气体会缩短离子源寿命



高离子束电流

长寿命



高稳定性


可选项:


气体计量系统

定制的插入长度

线性移位


技术数据:



安装法兰        DN40CF(不可旋转)

能量范围        0.12keV -  5keV

电流密度        > 120uA /cm2  (30mm的距离)

屏蔽              铜,不锈钢(针对活性气体)

阴极类型       铱(镀氧化钇涂层)

半峰宽度      (FWHM)取决于离子能量和工作距离(例如,工作距离为30mm时,为3mm)

典型工作距离  30 – 250mm

烘烤温度        可达250摄氏度

工作压力        10-5 - 10-6 mbar



IS40C1电源



描述:

  适配器驱动IS40C1离子源,该离子源广泛用于高真空样品清洗和准备。电源允许通过数字编码器对束能量和离子密度进行微调,

所有设置可以手动调节,可以被存储,开机后,会自动唤醒这些设置。该设备还具有内置定时器和自动待机模式。通过USB端口轻松更新固件。可以通过RS232/485或者以太网界面远程控制。该装置具有自动保存功能(设备保存您的参数,预设并在重新启动后自动应用)


可选项:

1.用于真空测量的模拟I/O卡(1表)

2.离子源控制应用



技术数据:

电源电压                           100 - 240 V, 50-60 Hz,

                                       

离子束能量(E)                   0.00 - 5 keV, 分辨率 0.01 keV, 纹波 < 0.2 mV

发射电流(le)                       0.01 - 10 mA, 分辨率0.01 mA

定时器                                双模定时器0秒-99小时59分

真空测量(可选)               CTR90, TTR91, TTR211, PTR225,

            PTR90, ITR90, ITR100, Baratron,

             ANALOG IN, MKS937A, PG105,

             MG13/14, PKR251/360/361,

             PCR280, ATMION

通信接口                            RS232/485, Ethernet

通信协议                            MODBUS-TCP

用户界面                            7英寸TFT显示屏,带触摸屏,数字编码器

界面语言                            英语,德语,波兰语

尺寸                                   483 x 133 x 437毫米(宽×高×深),19英寸可安装机架

重量(大约)                      9.2kg















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