RFEA离子能量分析仪（Semion）

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         RFEA 探测器安装于腔室内

系统配置

测量参数： 

离子能量范围                                                                  0 - 2000eV max

离子流量                                                                         0.001 - 700mA/cm² 

时间分辨频率范围                                                          4Hz to 100 kHz

离子能量分布函数（IEDF）分辨率                                +/- 1eV nominal 

RFEA 探测器：

探测器直径                                                     33mm
底座直径                                                        标准:70mm,100mm(4"),300mm(12") ，或按要求定制其它尺寸

底座厚度                                                        5mm

安装                                                               探测器与底座一体化安装

探测器壳体材料l                                            阳极氧化铝，不锈钢，或按要求定制其它材料

探测器底座材料                                             阳极氧化铝，不锈钢，或按要求定制其它材料

底座至腔壁连线长度                                     标准：650mm，可定制其它长度

腔室整体连接装置：

法兰型号                                                       标准： CF40； 或定制其他型号

电子控制单元

电压范围                                                      -600V to +600V (抑制电压), -2000V to +2000V (栅极扫描电压)

电流范围                                                      100pA to 60mA

通讯方式                                                       USB 2.0

软件

操作系统                                                      Windows 7以上

* 由直流偏压决定

具体配置请参考产品手册及致电010-88134534。