射频等离子体发射谱分析仪（RES-Moduli）

发布日期：2024-12-20 21:18 浏览次数：

应用于射频等离子体测量及过程控制

射频发射谱分析仪可以方便的放置于等离子体真空腔室外，直接监测到等离子体发射出的射频信号及谐波变化。该仪器设计用来进行终点检测、等离子体状态监控、故障诊断等，而无需对射频线路进行任何介入式的安装方式；尤其针对小面积刻蚀的终点检测，具有优异的表现，同时也可被用来检查气体泄露、晶圆错位、工艺故障导致的的等离子体变化等。射频信号的接收天线可置于观察窗、匹配器附近或者任意有射频信号泄露的地方即可开始检测。