真空残余气体分析仪（RGA）

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残余气体分析仪RGA是一款小巧、方便、实用的四级杆质谱分析仪，主要用于：

* 真空系统本底状态鉴定

  在系统达到极限真空时测定残余气体的种类和量值

* 真空系统污染监测和控制

  清洗介质残留,返油（碳氢化合物）,表面放气（空气, H2O,   O2, CO, CO2）

  通过软件中的标准气体库,可确定气体成分.

* 真空工艺监控

  - 在线监控:实时反映工艺异常或偏差

  - 数据按时间自动存储（SOD文件）以便

    日后追溯进行工艺分析

  - 继电器输出可用于控制阀门

  - 模拟输出可连线PLC

* 镀膜工艺研究开发

  各种工艺气体的相对比例对工艺/产品的影响

* 等离子体研究

  等离子体放电过程中气体成分变化

  
RGA的选用 

 电子倍增器（EM）+法拉第杯（FC）:10^-14~10^-15 Torr

* 质量数（AMU）

    取决于需要探测的气体

    100AMU传感器 探测范围: 1-100AMU

     200AMU传感器 探测范围: 1-200AMU

     300AMU传感器 探测范围: 1-300AMU

    绝大多数工业应用仅需100AMU传感器 

* 工作压强范围

    - 标准RGA: < 5 x 10^-4 Torr

    - 高压强型: < 1 x 10^-2 Torr，需另配真空系统