合成波射频VI探测器Octiv Suite是该系列中功能比较全的一款产品，除了涵盖Poly能测的所有参数（电压、电流、功率、相位、阻抗、谐波等），还能对电压电流的波形进行重建，实时绘制出电压电流的真实波形；如将该探测器直接接于腔室电极端，则可直接测量电极附近的离子流量即Ion Flux。
测量参数：
电压电流波形重建
离子流量（ion flux）测量
配置：
范围* | 精确度* | ||
功率 | 0-12.5kW | 电压 | ± 1% |
频率 | 40K-240M，选5个 | 电流 相位 | ± 1% ± 1° |
电压 | 0 - 3000 Vrms | 功率 | ± 1% |
电流 | 0 - 50 Arms | 采样率 | 1-10Hz |
相位 | -90° -> + 90° | 传感器阻抗 | 50 Ohms |
分辨率 | 插入损耗 | 0.05dB | |
电压 电流 相位 | ± 0.25V ± 5.0mA ± 0.01° | 谐波成分 | 最多128条 |
*据不同接头 | |||
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