在线射频异常探测器（Arc Sensor）

产品名称：在线射频异常探测器（Arc Sensor）

品牌：Impedans

产地：爱尔兰

型号：Alfven 100

主要功能：在线监控射频等离子体的不稳定现象

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Alfven 100是一款先进的一体化的诊断仪器，用于等离子体工艺过程中的放电异常现象检测。

Alfven能够以1us的分辨率进行实时测量，因此它即可用于检测和表征Arc，同时还可以监测每一个射频脉冲，以检查每个脉冲是否符合预先的设定。 Arc和射频脉冲缺失可能导致晶圆缺陷，因此，Alfven 100是快速故障排除和监测的必要工具。

配置
探头特性阻抗	50 Ohms as standard
接头类型	QC, EIA and custom options
适用功率范围@ 50 欧姆阻抗	Standard: 12 kW typical (connector dependent) High Power: 30 kW & 90 kW
工作温度范围	10 - 80 degC
供电	15-24 V DC, 0.5 A
通信接口	Micro USB, RJ45x2
连接 (自带软件)	USB 2.0, Ethernet
通信协议 (Standard)	USB 2.0, HTTP Web Service
通信协议(OEM 选用)	EtherCAT, EtherNet/IP
参数报告速率	10 Samples/second
主板数据存储	14 hours of average data plus up to 5000 typical pulse or arc events

Arc & Pulse 监测

Arc持续时间	1 μs to 5000 μs
Arc幅值范围	1% to 100% change
Arc分类	9
Pulse频率范围	5 Hz to 100 kHz
脉冲分级监测	Upto 3 levels
脉冲时间分辨率	1 μs
脉冲参数监测	Pulse frequency, Duty cycle (of each pulse level), Average, Max & min voltage and Current
可设置程序步骤数	40 steps max

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