Semion离子能量&离子流量分析仪用于测量真空腔室中等离子体的离子能量和离子流量。
该系统包括减速场能量分析(RFEA)多栅探测器(又称阻滞场RPA)、腔室整体连接装置和控制单元及软件。RFEA探测器安装于一个电极底座上,方便的置于腔室中的任意位置,可在多种等离子源条件下使用,如电容耦合、电感耦合、ECR、DC、微波和远程源等。控制单元可提供所有需要的栅极偏压,软件可自动扫描和控制测量。.
该产品的突出特点就是能够将RFEA探测器置于射频偏压表面上,并可以感知偏压表面的Vdc。Impedans可以将RFEA探测器底座制作成晶圆大小的尺寸,测量作用于晶圆表面的离子能量和离子流量的均匀性。
不同尺寸底座探测器
应用
Semion系统在研究和工业领域应用十分广泛:
等离子体工艺研究
· 真空镀膜
· 表面工程
· 半导体
· 太阳能/薄膜
RFEA 探测器安装于腔室内
系统配置
测量参数:
离子能量范围 0 - 2000eV max
离子流量 0.001 - 700mA/cm²
时间分辨频率范围 4Hz to 100 kHz
离子能量分布函数(IEDF)分辨率 +/- 1eV nominal
RFEA 探测器:
探测器直径 33mm
底座直径 标准:70mm,100mm(4"),300mm(12") ,或按要求定制其它尺寸
底座厚度 5mm
安装 探测器与底座一体化安装
探测器壳体材料l 阳极氧化铝,不锈钢,或按要求定制其它材料
探测器底座材料 阳极氧化铝,不锈钢,或按要求定制其它材料
底座至腔壁连线长度 标准:650mm,可定制其它长度
腔室整体连接装置:
法兰型号 标准: CF40; 或定制其他型号
电子控制单元
电压范围 -600V to +600V (抑制电压), -2000V to +2000V (栅极扫描电压)
电流范围 100pA to 60mA
通讯方式 USB 2.0
软件
操作系统 Windows 7以上
* 由直流偏压决定
具体配置请参考产品手册及致电010-88134534。
工业、半导体、航空航天
电话:010-88134534
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高校、研究所
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