Fab-Art 800
射频异常系统控制服务器
在线监测射频异常系统的状态，适用于连续波和脉
Fab-Art 800 控制服务器为部署在集成电路生产过程中的射频异常系统在线监测提供了强大的紧凑型解决方案。无论是用于特定的射频等离子体腔室分析，还是作为芯片工厂的中控或者FDC 系统的一部分，Fab-Art 800都可以用于执行快速有效的数据分析及传输控制。该控制器既可以单独与一台射频异常探测器进行连接，也可以通过简单的Ethernet等方式与多套探测器组成的射频异常系统进行连接，用于满足高速苛刻的技术要求。Fab-Art 800控制服务器在后期的应用扩展中，将不仅仅局限于射频异常系统，对于针对等离子体工艺过程中用到的其它监测传感器，也同样支持开发各项集成功能。
产品规格
名称 型号 | 射频异常系统控制服务器 Fab-Art 800 |
控制传感器器个数 | 1-8 |
数据显示 | 可外接PC屏幕 |
控制软件 | 内置 |
探测器数据传输方式 | Ethernet |
异常数据传输至机台上位机或FDC | 网络通讯，可定制 |
供电 | 220V，50Hz |
北京艾兰科技有限公司
Tel：010-88134534 15810948110
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