线性驱动装置用于配合探针对不同位置的等离子体参数进行空间分布扫描,可轻松得到等离子体参数的空间状态分布。
标配驱动长度为300、450、600、900mm,步阶为0.1mm。亦可根据需求定制不同长度的驱动装置。
标准DN40CF的法兰设计使得安装极其方便,独特的波纹管支撑设计可确保安装及操作探针测量过程中的的安全性。
300mm驱动装置测量不同空间位置电子密度的分布情况
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