在真空镀膜尤其是在镀绝缘材料的环境中，普通的朗缪尔探针在测试过程中针尖会很快被材料覆盖从而导致测试失效的问题，Impedans特别研发了专门用于此恶劣环境下的平面探针。该探针独特的平面探头结构以及AC电压的施加方式，可确保测试在镀膜厚度50um的条件下正常工作，即使镀膜厚度超过50um，简易的探头更换设计也使得时间和维护成本大大降低。
等离子体密度(Ni)：108 to 3x1014 cm-3
离子电流密度(Jp)：1uA/cm2 -30mA/cm2
电子温度(kTe)：0.1 to 15eV
德拜长度（Ld）
15810948110
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