非接触射频异常探测器

天线电源适配器

5 Vdc, 4.1 mm 公头

天线形状

[40 mm x 40 mm x 40 mm] & 定制

天线通信

2 x SMA 同轴线

采集单元电源适配器

24 Vdc, 0.5 A, 4.1 mm 公头

采集单元接口

Micro USB, Serial, Ethernet

采集单元协议

USB, HTTP Web Service, EtherCAT, Ethernet/IP Others on request

采集单元形状

[122 mm x 70 mm x 41 mm]

连接方式 (Impedans Software)

USB 2.0, Ethernet

通信协议 (Standard)

USB 2.0, HTTP Web Service

通信协议 (OEM Options)

EtherCAT, EtherNet/IP, Serial, RS232

参数报告速率(Standard)

可调; USB up to 500 S/s, Ethernet up to 100 S/s

采集单元脉冲同步

外部同步: TTL input

内部同步: Software level trigger

基频 (F0)

5个

基频范围

350 kHz - 100 MHz or 40 kHz - 400 kHz

谐波频率(FN) 范围

350 kHz - 500 MHz or 40 kHz - 2 MHz

谐波频率 (FN)

≤ 15 per fundamental (64 max.), ≤ 32 simultaneously

每个频率输出参数

V & I [不校准], 相位, 谐波

射频脉冲轮廓描绘

1 微秒分辨率

脉冲内检测

监控脉冲内的两个点[standard software],

监控脉冲内任意个点[使用API]

射频脉冲范围

10 Hz to 100 kHz

附加功能

射频波形重建

电压通道范围

任意 [可调节 gain]

电流通道范围

任意 [可调节 gain]

相位范围和分辨率

[仅当V和I通道被锁定时可用]

+/-180 度， 0.02 度分辨率

谐波相位范围和分辨率

+/-180 度， 0.02 度的分辨率

清洗终点检测

刻蚀终点检测

晶圆移位探测

等离子体阻抗监控

漏气和气体污染探测

工艺重复性

硬件老化检测

匹配器故障等