描述:
离子源IS 40C1是一个紧致,易用的提取类型的离子枪,主要用于样品表面清洁。该源生成的离子电流大于70微安每平方厘米(氩气),该离子电流具有高斯光束的轮廓。离子源的插入深度可根据个人要求调整(62.5mm-384.5之间)。
特征:
使用惰性气体(Ar)和活性气体(O2, H2,碳氢化合物),使用活性气体会缩短离子源寿命
高离子束电流
长寿命
高稳定性
可选项:
气体计量系统
定制的插入长度
线性移位
安装法兰 DN40CF(不可旋转)
能量范围 0.12keV - 5keV
电流密度 > 120uA /cm2 (30mm的距离)
屏蔽 铜,不锈钢(针对活性气体)
阴极类型 铱(镀氧化钇涂层)
半峰宽度 (FWHM)取决于离子能量和工作距离(例如,工作距离为30mm时,为3mm)
典型工作距离 30 – 250mm
烘烤温度 可达250摄氏度
工作压力 10-5 - 10-6 mbar
IS40C1电源
描述:
适配器驱动IS40C1离子源,该离子源广泛用于高真空样品清洗和准备。电源允许通过数字编码器对束能量和离子密度进行微调,
所有设置可以手动调节,可以被存储,开机后,会自动唤醒这些设置。该设备还具有内置定时器和自动待机模式。通过USB端口轻松更新固件。可以通过RS232/485或者以太网界面远程控制。该装置具有自动保存功能(设备保存您的参数,预设并在重新启动后自动应用)
可选项:
1.用于真空测量的模拟I/O卡(1表)
2.离子源控制应用
技术数据:
电源电压 100 - 240 V, 50-60 Hz,
离子束能量(E) 0.00 - 5 keV, 分辨率 0.01 keV, 纹波 < 0.2 mV
发射电流(le) 0.01 - 10 mA, 分辨率0.01 mA
定时器 双模定时器0秒-99小时59分
真空测量(可选) CTR90, TTR91, TTR211, PTR225,
PTR90, ITR90, ITR100, Baratron,
ANALOG IN, MKS937A, PG105,
MG13/14, PKR251/360/361,
PCR280, ATMION
通信接口 RS232/485, Ethernet
通信协议 MODBUS-TCP
用户界面 7英寸TFT显示屏,带触摸屏,数字编码器
界面语言 英语,德语,波兰语
尺寸 483 x 133 x 437毫米(宽×高×深),19英寸可安装机架
重量(大约) 9.2kg
工业、半导体、航空航天
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