离子枪 （IS40E1）及配套电源

描述：

IS 40E1离子源是一个拥有双透镜，取样器类型，可聚焦，差动泵离子枪。离子源能够在推荐的工作距离处对表面的10 mm x 10 mm区域进行光栅扫描。它特别适用于XPS(X射线光电子能谱)、ISS（离子散射谱分析）和SIMS(二次离子质谱)中的深度剖析。该源还可用于样品表面清洗。

特征：

1特殊配置鼻锥；

2可使用惰性气体(Ar)和活泼性气体(O2, H2，碳氢化合物)，活泼性气体，会使寿命缩短；

3连续可变的光斑（离子束照射区域）大小；

4可更换灯丝；

5超高真空气体入口；

6腔室可保留超高真空条件；

7集成扫描和偏转模块；

8可修正入射电子束角度（电子束由IS40-PS适配器提供）

可选项：

1Wien质量过滤器

2气体计量系统

3线性移动距离：25，50,75,100mm

4差动泵（2级）

技术数据

安装法兰               DN 40 CF (可旋转)

气体                     可使用惰性气体(Ar)和活泼性气体(O2, H2，碳氢化合物)，活泼性气体，会使寿命缩短

能量范围               0.15 keV - 5 keV

扫描区域               10 mm × 10 mm (23mm的距离)

电流密度               可达4 mA/cm2 (23mm的距离)

离子束电流            大于1uA（23mm的距离）

阴极类型                铱（镀氧化钇涂层）

小锥角                   50度

真空侧                   无磁性部件

插入深度                163毫米；外径：34毫米

半峰宽度（FWHM）取决于工作距离（例如，对于23 mm的距离，<150μm）

典型工作距离          23 - 120 mm

烘烤温度                可达250摄氏度

工作压力                10^-8毫巴（最大束电流的情况下）

IS40E1电源

描述：

   IS40-PS电源适配器驱动IS40E1扫描离子源。允许微调主离子束能量，离子密度和离子束轮廓（通过调节取样器，聚焦透镜，偏转和定位元件来完成。）

  通过数字编码器可以改变4个参数。每个参数的当前状态都可以显示在LCD面板上。所有设置可以手动调节，可以被存储，开机后，会自动唤醒这些设置。

  该设备还具有内置定时器和自动待机模式。通过USB端口轻松更新固件。可以通过RS232/485或者以太网界面远程控制。该装置具有自动保存功能（设备保存您的参数，预设并在重新启动后自动应用）

选项：

1用于真空测量的模拟I/O卡(1表)

2离子源控制应用

技术数据：

电源电压                           100 - 240 V, 50-60 Hz,(最大功耗250 W)

离子束能量(E)                    0.15 - 5 keV, 分辨率 0.01 keV, 纹波 < 0.2 Vpp

发射电流(l_e)                      0.01 - 10 mA, 分辨率0.01 mA

聚焦（1,2）电压                0 - 5000 V, 分辨率 1 V, 纹波 < 0.2 Vpp

取样器电压（Ex）              60-100%的能量，分辨率0.1%，纹波<0.2 Vpp

离子束位置（Px，Py）        -5 mm - 5 mm,分辨率 0.01 mm

扫描区域(Δx, Δy)                10 mm × 10 mm, 分辨率 0.01 mm

扫描速度(time/dot)             20 μs - 30 ms

定时器                              双模定时器0秒-99小时59分

真空测量（可选）                CTR90, TTR91, TTR211, PTR225,

                                           PTR90, ITR90, ITR100, Baratron

                                          ANALOG IN, MKS937A, PG105,

   MG13/14, PKR251/360/361,

      PCR280, ATMION

通信接口                               RS232/485, Ethernet

通信协议                                   MODBUS-TCP

用户界面                         7英寸TFT显示屏，带触摸屏，数字编码器

界面语言                            英语，德语，波兰语

尺寸                          483 x 133 x 437毫米（宽×高×深），19〃可安装机架

重量（大约）                               12kg