束流枪（FS40A1）及配套电源

束流枪                                                                                              

1.描述：                                                                                                           

   FS 40A1 FLOOD SOURCE是一个低成本的电子束流源，在绝缘体或者半导体的XPS/AES和SIMS应用中，可用作电荷中和。电子束流有两个能量范围。软件控制，插入腔室的深度可以定制（145 -421mm或者其他长度）还可以定制防护罩材料，例如,μ金属，铜等。

2.特征：  

▪▪ 高电子光束电流

▪▪可选的能量范围

▪▪电子束流很稳定

▪▪可以控制电子束流轮廓

3.选项：

▪▪ 线性平移

▪▪可定制插入深度

▪▪源屏蔽材料（μ-金属或者铜）

4.技术数据：

安装法兰：                          DN  40  CF（不可旋转）

能量范围：                          0.01-1000eV

阴极类型：                         钨(钍涂层)

屏蔽：                                 铜(适用μ金属腔室)或者μ金属（适用于不锈钢腔室）

插入深度：                          

                                          外径: 33.6mm (μ金属)，35mm(铜)

FWHM(半峰宽度)                  取决于工作距离

                                          (例如工作距离为30mm时，半峰宽度为10mm)

典型工作距离：                     20-100mm

工作压力：                           小于5×10-6mbar

束流枪电源：

描述：

  FS40-PS电源允许微调所有仪器参数，以实现较宽范围的束流轮廓;不需要额外的电子设备。所有可调参数都显示在大尺寸TFT显示屛（触摸屏）上。所有设置都可以手动调节或者被储存，待该装置上电后，自动唤醒。该装置还具有内置定时器和自动待机模式。

  FS40-PS可以独立安装，也可以安装在19英寸机架上。可以远程控制，也可以使用模拟接口远程控制电子束能量，发射电流，聚焦和提取电压。

  该设备具有自动保存功能（可以保存已经设置的参数，设备重启后无需重新设置）

应用：

  FS40-PS电源用作FS40A1电子束流枪的电源，在XPS/AES和SIMS应用中，中和样品表面的异性电荷。

技术数据：

电源电压：                                                          100 - 240 V, 50-60 Hz

电子束能量（低能范围）：                                      0.01 - 50 eV,

                          分辨率0.01 eV  

电子束能量（高能范围）：                                      50 - 1000 eV,

   分辨率 0.1 eV

发射电流：                                                    1 - 1000 μA, 分辨率 0.1 μA

聚焦电压 ：                                                   300 - 1000 V, 分辨率 0.1 V

Extractor voltage(提取器电压) ：                          0 - 150 V, 分辨率 0.1 V

模拟输入：                                                             4（0-10V）

计时器 ：                                                         双模式计时器0 s - 99 h 59 m

通信接口：                                                         RS232/485, Ethernet

通信协议：                                                               MODBUS-TCP

用户界面：                                                        7英寸TFT显示屏，带触摸屏，

界面语言：                                                           英语，德语，波兰语

尺寸：                                                          483 × 133 × 435 mm (W×H×D),

                    19英寸机架安装 or 单独安装

重量（大约）：                                                              5.2kg